ファインバブル(FB)水の気泡サイズが洗浄に及ぼす影響に着目し、粒子径分布測定装置(SALD-7500nano・島津製作所製)を用いたFB水の気泡サイズ(粒子径分布)および気泡密度(個数濃度)の定間隔連続測定手法を解説した。さらに、FB水の水系洗浄に関わる性能および洗浄効果の評価として、モデル汚れの選定から、アデノシン三リン酸(ATP)を指標とした清浄度および洗浄率の測定方法を示した。また、オゾンUFB水については、オゾン濃度や界面活性剤との併用効果に着目し、汚れ除去性能の評価を行い、FB水の洗浄分野への応用可能性を示唆した。