表面処理法および界面活性剤浸漬によるシリコンウェハーのぬれ変化

第26回洗浄に関するシンポジウム（大阪）

後藤純子，齊藤昌子，角田光雄，中島嘉之
界面活性剤表面へのぬれを定量的にとらえるために、シリコンウエハーの表面処理法の検討及び界面活性剤水溶液への浸漬によるぬれ性変化の解析を試みた。